蒸發態三氧化鉬還原法是超細鉬粉製備方法之一。傳統製備鉬粉的方法因為製備工藝週期長、溫度高，鉬粒在此過程中易發生長大，通常得不到超細鉬粉。目前，超細鉬粉的製備方法主要有：氯化鉬的蒸汽法、蒸發態三氧化鉬還原法、等離子還原法和活化還原法。蒸發態三氧化鉬還原法是在使用該方法在1300～1500℃之間得到的鉬粉為均勻的球形顆粒，粒徑一般為40～70nm；但該法的工藝參數控制比較困難。更多資訊，請訪問：鉬粉。

其中，MoO3-N2和H2-N2氣流的混合溫度以及MoO3成分所占的濃度都對粉末粒度的影響很大。

該方法製備鉬粉是在特定的設備裝置下進行的。反應管採用的是α-Al材料。MoO3粉末(純度達99.9%)裝在一個鉬舟上，將其置於預熱爐和爐膛中。MoO3蒸汽在H2-N2混合氣體(150mL・min-1)及N2氣(400mL・min-1)的混合氣流的夾載下進入反應區。更多資訊，請訪問：鉬及鉬粉噴塗。