溶胶-凝胶法制备三氧化钨薄膜方法主要有钨粉过氧化聚钨酸法、氯化钨的醇化法及钨酸盐离子交换法等。钨粉过氧化聚钨酸法制备三氧化钨薄膜具有不需要保护气、条件温和、成本低、工艺流程简单、仪器易操作等一系列优点。过氧化聚钨酸法形成钨酸再通过缩合反应形成溶胶凝胶薄膜。此种制备方法制备出的纳米多孔结构可人为可控，有利于氢原子的扩散，从而提高气致变色的响应速度，可以大面积工业化制备溶胶凝胶，并且成本较低。更多信息，请访问：http://cn.chinatungsten.com/Tungsten-Oxide/Tungsten-Trioxide.html

三氧化钨的结构取决于温度：它在740 °C以上为四方晶系、330-740 °C为正交晶系、17-330 °C为单斜晶系、-50-17 °C为三斜晶系。单斜的结构最常见，其空间群为P21/n。
三氧化钨可由很多方法制备：
先用钨酸钙与盐酸反应生成钨酸沉淀，然后钨酸高温分解成为三氧化钨和水。
CaWO4 + 2HCl → CaCl2 + H2WO4
H2WO4 → H2O + WO3
氧化剂存在下，仲钨酸铵热分解：
(NH4)10[H2W12O42]•4H2O → 12 WO3 + 10NH3 + 11H2O
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