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反应烧结碳化硅悬臂浆

反应烧结碳化硅悬臂浆

反应烧结碳化硅悬臂浆是半导体晶圆装载系统的关键部件。光伏新能源行业的碳化硅浆,主要规格为2378毫米,2550毫米,2660毫米等,应用在扩散炉中对多晶硅硅片或单晶硅硅片的(扩散)涂层过程中,对硅片在高温环境中(1000~1300℃)的承载输送作用。悬臂浆性能稳定,在高温环境下不变形,晶圆装载力大,适用于机器人自动装载和搬运系统。由于悬臂浆截面稳定不变形,使得利用现有的炉管制备更大规格晶圆成为可能。悬臂浆与LPCVD涂层的热膨胀系数相近,应用于LPCVD,极大地延长了维护清洗的周期,并大幅减少污染物。更多信息,请访问:http://www.silicon-carbide.cn/chinese/silicon-carbide-bar.html

碳化硅(SiC)是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑为原料通过电阻炉高温冶炼而成。碳化硅在大自然也存在罕见的矿物,莫桑石。 碳化硅又称碳硅石。在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中,碳化硅为应用最广泛、最经济的一种。可以称为金钢砂或耐火砂。 碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料在电阻炉内经高温冶炼而成。目前我国工业生产的碳化硅分为黑色碳化硅和绿色碳化硅两种,均为六方晶体,比重为3.20~3.25,显微硬度为2840~3320kg/mm2。更多信息,请访问:http://www.silicon-carbide.cn/chinese/three-phase-silicon-carbide-rod.html。

 

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