蒸发态三氧化钼还原法是超细钼粉制备方法之一。传统制备钼粉的方法因为制备工艺周期长、温度高，钼粒在此过程中易发生长大，通常得不到超细钼粉。目前，超细钼粉的制备方法主要有：氯化钼的蒸汽法、蒸发态三氧化钼还原法、等离子还原法和活化还原法。蒸发态三氧化钼还原法是在使用该方法在1300～1500℃之间得到的钼粉为均匀的球形颗粒，粒径一般为40～70nm；但该法的工艺参数控制比较困难。更多信息，请访问：钼粉。

其中，MoO3-N2和H2-N2气流的混合温度以及MoO3成分所占的浓度都对粉末粒度的影响很大。

该方法制备钼粉是在特定的设备装置下进行的。反应管采用的是α-Al材料。MoO3粉末(纯度达99.9%)装在一个钼舟上，将其置于预热炉和炉膛中。MoO3蒸汽在H2-N2混合气体(150mL・min-1)及N2气(400mL・min-1)的混合气流的夹载下进入反应区。更多信息，请访问：钼及钼粉喷涂。