什麼是鉬合金濺射靶材(鉬合金靶材)?在鉬靶材中加入鎢、釩、鈮、鉭等合金元素,即為鉬合金濺射靶材,鉬合金靶材。其是利用離子源產生的離子,在真空中加速聚集成高速離子流,轟擊固體表面,離子和固體表面的原子發生動能交換,使固體表面的原子離開靶材並沉積在基材表面,從而形成納米(或微米)薄膜。更多資訊,請訪問:鉬濺射靶材。
隨著電子行業綜合性能和使用環境要求的提高,鉬合金靶材也表現出了其獨特的性能。由於鉬在耐腐蝕性(變色)和密著性(膜的剝離)方面存在問題。因此,在鉬靶材中加入鎢、釩、鈮、鉭等合金元素,可使濺射後濺射薄膜的比阻抗、應力、耐腐蝕性等各種性能達到均衡。更多資訊,請訪問:鉬濺射靶材。