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提高二矽化鉬塗層使用壽命

二矽化鉬粉

提高二矽化鉬塗層使用壽命的主要方法有:(1)化學和物理氣相沉積法;(2)MoSi2中添加第3種組元達到以下目的:(a)使保護膜成為複合氧化膜以提高保護膜的抗氧化性能;(b)使其熱膨脹係數儘量接近基體材料的熱脹係數,以防止冷卻時保護膜開裂;(c)改善MoSi2的低溫形變能力;(d)制得與SiO2形成共晶的氧化膜,降低保護膜的熔點,以便在更低溫度(<1200)下發揮裂紋自修補的功能。但上述方法均未獲得實質性的進展,目前只限於短時間內使用。如已用於渦輪進口溫度超過1400的特殊發動機渦輪葉片的Mo合金塗層;用於導彈尾噴管的MoNb合金的塗層;用於人造衛星等火箭推進器Nb2W2Ta合金的塗層等。更多資訊,請訪問:二矽化鉬

二矽化鉬塗層發展史:
1967年蘇聯化學物理研究所А.Г.馬爾茲漢等發明了自蔓延(SHS)冶金技術。1976年蘇聯聯合30多家不同組織機構參與了SHS工藝方法的研究和開發,研製合成出200多種材料,其中至少2種以上投入生產,如二矽化鉬和碳化鈦,後者用作工業金剛石的代用品;前者作為加熱元件。目前世界上瑞典“康達爾”公司生產的加熱元件品質更好,但價格較昂貴。

最近幾年來,美國、日本和波蘭等國對SHS方法亦產生了濃厚的興趣。國內天津化工所研究二矽化鉬最早。相繼在洛陽、上海生產矽化鉬加熱元件,但產品品質與國外有一定距離。由於二矽化鉬製品最大缺點——脆性,同時國內生產的鉬製品不緻密、表面不光滑和缺陷較多。

近年來,大量文獻報導了等離子噴塗或反應性等離子噴塗MoSi2基複合材料及其塗層。一致認為,低壓噴塗所得塗層最緻密、含氧量低、化學成分均勻。一般積體電路在製造過程中要進行1000以上的高溫處理,在比電阻比多晶矽小的矽化物中,MoSi2WSi2等難熔矽化物就能經受如此高的溫度。因此,MoSi2也是製作積體電路柵極的理想材料之一。Brestchneider等人引用離子濺射法製備出的MoSi2薄膜塗層,可以滿足大型積體電路的各種要求。在高溫(>1200)下,MoSi2表面被氧化形成緻密的SiO2薄膜。由於SiO2粘性較小,容易流進裂紋中去,從而起到修補裂紋或裂紋自癒合的作用。但傳統的包埋法MoSi2。更多資訊,請訪問:二矽化鉬

 

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