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二硅化钼用作涂层材料

二硅化钼

二硅化钼可用作涂层材料。涂层(coating)是涂料一次施涂所得到的固态连续膜,是为了防护,绝缘,装饰等目的,涂布于金属,织物,塑料等基体上的塑料薄层。涂料可以为气态、液态、固态,通常根据需要喷涂的基质决定涂料的种类和状态。二硅化钼可以用作涂层材料,二硅化钼涂层可分为两种,其一是用于难熔金属及其合金和石墨以及C-C复合材料的高温抗氧化涂层;其二是用于大规模集成电路的栅极薄膜涂层,一般寿命不高。更多信息,请访问:二硅化钼 

二硅化钼涂层发展史:
1967年苏联化学物理研究所А.Г.马尔兹汉等发明了自蔓延(SHS)冶金技术。1976年苏联联合30多家不同组织机构参与了SHS工艺方法的研究和开发,研制合成出200多种材料,其中至少2种以上投入生产,如二硅化钼和碳化钛,后者用作工业金刚石的代用品;前者作为加热元件。目前世界上瑞典“康达尔”公司生产的加热元件质量更好,但价格较昂贵。

最近几年来,美国、日本和波兰等国对SHS方法亦产生了浓厚的兴趣。国内天津化工所研究二硅化钼最早。相继在洛阳、上海生产硅化钼加热元件,但产品质量与国外有一定距离。由于二硅化钼制品最大缺点——脆性,同时国内生产的钼制品不致密、表面不光滑和缺陷较多。

近年来,大量文献报道了等离子喷涂或反应性等离子喷涂MoSi2基复合材料及其涂层。一致认为,低压喷涂所得涂层最致密、含氧量低、化学成分均匀。一般集成电路在制造过程中要进行1000以上的高温处理,在比电阻比多晶硅小的硅化物中,MoSi2WSi2等难熔硅化物就能经受如此高的温度。因此,MoSi2也是制作集成电路栅极的理想材料之一。Brestchneider等人引用离子溅射法制备出的MoSi2薄膜涂层,可以满足大规模集成电路的各种要求。在高温(>1200)下,MoSi2表面被氧化形成致密的SiO2薄膜。由于SiO2粘性较小,容易流进裂纹中去,从而起到修补裂纹或裂纹自愈合的作用。但传统的包埋法MoSi2。更多信息,请访问:二硅化钼

 

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