溶膠-凝膠法製備三氧化鎢薄膜方法主要有鎢粉過氧化聚鎢酸法、氯化鎢的醇化法及鎢酸鹽離子交換法等。鎢粉過氧化聚鎢酸法製備三氧化鎢薄膜具有不需要保護氣、條件溫和、成本低、工藝流程簡單、儀器易操作等一系列優點。過氧化聚鎢酸法形成鎢酸再通過縮合反應形成溶膠凝膠薄膜。此種製備方法製備出的納米多孔結構可人為可控，有利於氫原子的擴散，從而提高氣致變色的回應速度，可以大面積工業化製備溶膠凝膠，並且成本較低。更多資訊，請訪問：http://cn.chinatungsten.com/Tungsten-Oxide/Tungsten-Trioxide.html

三氧化鎢的結構取決於溫度：它在740 °C以上為四方晶系、330-740 °C為正交晶系、17-330 °C為單斜晶系、-50-17 °C為三斜晶系。單斜的結構最常見，其空間群為P21/n。
三氧化鎢可由很多方法製備：
先用鎢酸鈣與鹽酸反應生成鎢酸沉澱，然後鎢酸高溫分解成為三氧化鎢和水。
CaWO4 + 2HCl → CaCl2 + H2WO4
H2WO4 → H2O + WO3
氧化劑存在下，仲鎢酸銨熱分解：
(NH4)10[H2W12O42]•4H2O → 12 WO3 + 10NH3 + 11H2O
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